介紹一下鎢燈絲掃描電鏡的調焦結構

　　鎢燈絲掃描電鏡裝配的基本組件可以滿足高分辨率成像的要求，這些基本組件不僅可以保證電鏡高質量的成像，而且能夠實現快速裝載樣品，短時間內成像。精確的自動聚焦和電子束自動對中使飛納電鏡系列成為市場上受用戶歡迎、操作簡單的鎢燈絲掃描電鏡。對于有高分辨率成像需求的用戶來說，Phenom Pure可以提供經濟、高效的解決方案。
 

　　鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。
 

　　無論是透明的材料或不透明材料、甚至熒光材料都可以分析出較為理想的效果。在較低放大率下，移動采樣階段可以找到待分析的樣本、放大的和聚焦的樣本。較簡單的方法是找出邊界明顯的特征點，使用對比度、亮度、放大率和焦距來制作圖像，然后在樣本的基礎上尋找或選擇感興趣的分析站點。
 

　　鎢燈絲掃描電鏡的調焦結構分為微動調焦和粗動調焦兩部分：
 

　　1、微動調焦結構
 

　　微動機構有齒輪式，杠桿式，行星輪式等結構形式，中以齒輪式粗、微動同軸結構使用得普通。
 

　　2、粗動調焦結構
 

　　粗動調焦機構一般采用齒輪與齒條的嚙合運動形式，選用組織穩定而耐磨性較強的合金材料，并經過精密加工而成。
 

　　當轉動粗動手掄時，全相試樣表面對光學系統發生相對運動，被調系統作準確的直線運動。移動時效尾與燕尾榴配合平穩，沒合松動或過緊的現象。而齒輪與齒條的齒合精度由調整齒條與齒輪的中心距保證。