鎢燈絲掃描電子顯微鏡具有明場、暗場、偏光以及微分干涉等不同的觀察模式。在金相組織觀察過程中，常規(guī)應用廣泛的就是明場，大部分金相檢驗檢測都可以通過明場模式拍攝。然而，暗場、偏光以及微分干涉在材料分析中具有其*作用的。
鎢燈絲掃描電子顯微鏡是將傳統(tǒng)的光學顯微鏡與計算機通過光電轉(zhuǎn)換有機的結(jié)合在一起，不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計算機顯示屏幕上觀察實時動態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。盡管類型很多，但其結(jié)構(gòu)大體可以分為光學系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、機構(gòu)系統(tǒng)三個部分；此外還有照相裝置，顯微硬度等。
如何校準鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差：
1、物鏡放大倍數(shù)的正確性：裝上10X標準目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。調(diào)查時測微尺應與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數(shù)的偏差。其余物鏡以此類推舉行校校準，其偏差不大于5%。
2、目鏡分劃板的準確度：將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調(diào)好焦距;調(diào)解工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱導游軌行程平行并對好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其偏差不大于5um。
3、物鏡成像清楚局限：用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣舉行調(diào)焦，使成像清楚。當視場中心像非常清楚時，測得視場內(nèi)的成像清楚局限的偏差不低于60%。
4、各物鏡相對于目鏡的格值：裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標準測微尺(推薦應用隨機0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊;調(diào)解測微尺標尺軸線與儀器目鏡分劃板標尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包括測微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推舉行校準。
以上內(nèi)容就是對如何校準鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差的介紹了，鎢燈絲掃描電子顯微鏡是普遍用于冶金、機械加工、科技等行業(yè)的丈量儀器
